Run-to-run control in semiconductor manufacturing
- Författare
- (Edited by James Moyne, Enrique Del Castillo, Arnon Max Hurwitz.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| CRC Press | cop. 2001 | USA, Boca Raton, Fla | 348 sidor. ill. 25 cm. |